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压力分析系统在化学机械抛光中的应用(CMP)

文章出处:责任编辑:肖婕人气:-发表时间:2015-05-19 09:54【

化学机械抛光需要一个完美的平滑面,否则随后的加工过程将会产生差错,给您的企业造成损失!

昆山创研科技有限公司的压力分析系统能够在抛光过程中,瞬间捕获抛光头在晶片上所产生的压力状况。如果存在不均匀的压力,压力分析系统将会以彩色的2-D和3-D图像显示出来。

仪器校正后,再次测量来保证压力均匀。该项获得专利的薄膜传感器,在这种应用中配合简便,并能使环境干扰最小化,从而测得真实的压力状态

传感器具有多种形状,可以重复使用,且读数准确。我们昆山创研科技拥有高质量的销售和工程支持团队,将会根据您的需求提供相匹配的配置。

材料打磨的不均匀很可能是由于晶片上所受的研磨头的压力不均匀造成的,在研磨头的两个边垂位置产生的压力较高。

应用:

鉴定不平研磨、磨损部位和高、低压设备

调整前后比较

相同设备间比较

可靠性和验证测试

优势:

  优化机器安装:

  节省时间和成本

  提高合格产品比率

  提高设备使用率

  增加制造产出

常用的传感器类型

型号 #

感测面积

感测密度

5250

9.68 x 9.68 in (245.9 x 245.9   mm)

20.7/ in2 (3.2/cm2)

5315

19.20 x 16.80 in (487.7 x 426.7   mm)

6.3/in2 (1.0/cm2)

6010N

14.2 x 14.2 in (361 x 361 mm)

38/in2 (5.9/cm2)

7101

19.2 x 17.6 in (487.7 x 447 mm)

25/in2 (3.9/cm2)

 




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